ISO/TR 19319:2013
Поверхностный химический анализ. Фундаментальные подходы к определению поперечного разрешения и резкости при использовании методов на базе пучка

 

124 страницы

Опубликован 06.03.2013

Surface chemical analysis -- Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods